分解能0.4μのX線顕微検査装置により、直径400mm・耐荷重5kgまでのワークの非破壊内部観察を受託(電源・エアーの取込可)いたします。
X線源 | ・最小分解能:0.4μm ・管電圧:20kV~130kV ・管電流:~200μA |
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最大機何倍率 | 1200倍(モニター倍率5760倍) |
ステージ | ・サイズ:直径400mm ・耐荷重:5kg ・ストローク(X軸/Y軸):±200mm/±150mm ・ストローク(Z軸/θ軸):230mm/360° |
検出系傾斜角度 | 0~60dp |
最大検査範囲 | 335mm×300mm |